Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“. Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas. 2000.
Elektronenstrahlmaskenschreiber — elektronpluoštis fotokaukių generatorius statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. electron beam photomask generator vok. Elektronenstrahlmaskenschreiber, m rus. электронно лучевой генератор фотошаблонов, m pranc. générateur des… … Radioelektronikos terminų žodynas
elektronpluoštis fotokaukių generatorius — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. electron beam photomask generator vok. Elektronenstrahlmaskenschreiber, m rus. электронно лучевой генератор фотошаблонов, m pranc. générateur des photomasques par faisceau d électrons, m … Radioelektronikos terminų žodynas
générateur des photomasques par faisceau d'électrons — elektronpluoštis fotokaukių generatorius statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. electron beam photomask generator vok. Elektronenstrahlmaskenschreiber, m rus. электронно лучевой генератор фотошаблонов, m pranc. générateur des… … Radioelektronikos terminų žodynas
электронно-лучевой генератор фотошаблонов — elektronpluoštis fotokaukių generatorius statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. electron beam photomask generator vok. Elektronenstrahlmaskenschreiber, m rus. электронно лучевой генератор фотошаблонов, m pranc. générateur des… … Radioelektronikos terminų žodynas
Extreme ultraviolet lithography — (also known as EUV or EUVL ) is a next generation lithography technology using the 13.5 nm EUV wavelength. EUVL opticsEUVL is a significant departure from the deep ultraviolet lithography used today. All matter absorbs EUV radiation. Hence, EUV… … Wikipedia
